无尘室标准 无尘室 无尘车间等级划分

          无尘室(洁净室)根据洁净程度不同分很多等级。

　　目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多，数字越小，洁净等级越高。

　　无尘室(洁净室)1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗 ;

　　无尘室(洁净室)100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗 ;

　　注意了：每个等级所管控的颗粒大小也不一样;

　　依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室(洁净室)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级;

　　如果无尘室(洁净室)的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

　　一、联邦规格无尘室等级

　　现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格，BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格)。 其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如：空气中含有10个0.5 以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。 在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级 一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2???8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3，依次类推。

　　二、无尘车间-无尘室(洁净室)标准等级

　　美国联邦标准209E (1992 年)PC/ft3

　　洁净度级别：粒径(um)